XRF好象有薄膜校正的嘛!
ahobo 发表:
实验室自己搭建的系统,
其功能包括对无机薄膜样品进行XRF(energy dispersive)分析,
为了验证该功能,
我制备了单一金属的厚度梯度薄膜,厚度从几百nm到几微米,
然后测量了薄膜中不同区域的厚度和反射的荧光强度,
当然,由于薄膜的吸收,荧光强度根膜厚并不成正比,
我现在想从薄膜的成分(只有一种元素)和厚度计算出其荧光强度分布曲线,
看是否如我实验的结果一致,
请问,哪里能找到这样的参考文献?最好带公式的?
另外请教:
从XRF谱中用无标样的办法是不是也可以定量或者半定量地解出元素的含量呢?
现在,有什么现成的算法或者软件么??