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【求助】离子减薄仪出问题求助

tianqing

2008/10/06

透射电镜（TEM）

我在做离子减薄的过程中出现了这样一个对话框提示：The operation has been halted due to irregular gas flow on the ion gun ,please select a course of action. abort,retry,ignor.当时通入氩气的压力是0.07MPa,点开始的时候发现减薄室的真空值下降到1.32*e-3，停止减薄后真空值又恢复到2*e-5，希望高手们指教，不胜感激！

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tianqing

第1楼2008/10/06

仪器型号是FISCHIONE INSTRUMENT MODEL 1010

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jzliu323

第2楼2008/10/07

一般离子减薄的气压在1.8MPa，你把气压开大一点看看有什么反应？

真空值变化是正常的，一般没开离子枪气阀之前真空值低于10^-4即可，所以说你的真空是正常的。

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jzliu323

第3楼2008/10/07

一般离子减薄的气压在1.8MPa，你把气压开大一点看看有什么反应？

真空值变化是正常的，一般没开离子枪气阀之前真空值低于10^-4即可，所以说你的真空是正常的。

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xuaiqun

第4楼2008/10/07

我推测是气缸的气漏进样品室。我用的是Gatan 600型。听说与你的机器原理差不多。样品杆上的密封圈换一个试试。

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ywngs

第5楼2008/10/10

楼上说的问题经常出现还是偶尔现象？如果是偶尔现象就没什么问题．就提提供的真空度参数是正常的，刚开机要下降，减薄几分钟后就稳定了．

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