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【讨论】电镜图像模糊(图)

扫描电镜(SEM/EDS)

  • 国庆放假前电镜出现模糊不清的情况,看着好像有拖影材料的颗粒好像有个尾巴一样,刷新率正常,光阑也正常,把所有的设置都调到了工程师安装的时候的数据但是还是存在。后来把机器重新启动了几次,放气启动的,第一次得启问题依就,第二次还是同样,第三次还是同样,后来实再是没有办法了,把安装时一起学习的一个朋友叫来,把设置又重新调了一边还是存在同样的问题。这个朋友把真空放掉没有关软件也没有关电脑直接把电镜主机关了,后来再启动的时候就出现真空系统故障,放气和抽真空两个灯同时闪,一直闪。这不一个瞎子又变成聋子。然后就找原因,后来同时把电镜主机上放气和抽真空两个键同时按下去,过了有10秒钟的时间出现真空系统故障的提示。把提示一关问题同样,那就再按一次吧!嘿嘿,这次好了。可以抽真空了,但是图像模糊的问题还是有,然后在把前几次换灯丝的过程回忆了一边,也不觉得有问题,但是为了保险起见就把灯丝拿下来,看看也没有发现什么问题,就装了回去,这时开机在看的时候第一感觉就是比刚开始的时候清楚多了,那就在做几个样看看吧,这个时候啊发现图像越来越清楚了,故障算是排除了。但是现在也想不能问题出在那里。哦!对了,在问题出现前做过粉末样品,会不会是粉末样品没有处理好?再想想也不会啊,在做这个样的时候还可以清楚的拍到啊,效果还是不错的。
    就这样故障排除了,但是不知道问题到底出在那里,请高手给个合理的解释吧!呵呵




    注:此贴用于讨论电镜操作经验,严禁灌水!!!




    现在将图片上传请各位高手看看,能否找到问题的所在:

    有问题的时候拍到的:
    1、




    2、




    3、




    4、这张是调好了之后的一张图





    这张好像是样品的问题吧!

    这些是后来又拍的几张:

    1、





    2、


    3、




    4、




    5、


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  • huangtao0307

    第1楼2008/10/07

    呵,很长的故事啊。
    建议还是先传张图片上来看一下吧,那样一目了然 。
    楼主的电镜是哪一家的?什么型号的呢?

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  • arevajzhwang

    第4楼2008/10/07

    不一定是电镜的问题,也可能是样品的问题,样品如果不导电,也有可能出现这种情况。如果机器问题,可能是对中出了些问题吧,调调对中和像散试试?

    仅供参考。

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  • teufelmond

    第8楼2008/10/07

    就现象来说,
    首先,检查灯丝,灯丝上附着一些脏东西的话,会让电子束不稳定.
    其次,更换为导电样品,即可清晰观察到的样品,自己制作的或者化合物并不适用于检查问题.
    第三,不可完全依赖电子枪自己的枪对中,手动调整是很有必要的.
    第四,聚焦和消除像散需耐心,好多时候我个人凭感觉(我是说不明白)...

    然后就没有什么特别的了,大量观察粉末样品的话,一定要在制样上特别注意,如果有未完全固定的粉末,一定要在放入电镜前去掉,不然会对真空系统和成像系统造成比较大的影响.

    我知道的就这么多了,请各位指教.

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  • fengyonghe

    第22楼2008/11/09

    问题出在灯丝和栅极帽
    1, 灯丝对中后要把三只对中螺丝同时拧紧,否则使用过程中灯丝会漂移,图像便模糊
    2, 每次更换灯丝同时更换栅极帽,旧的栅极帽清洗后备用。第2条是必需的。
    如果这两条做到了还是故障依旧,下面再分两步
    1,清洗栅极 2清洗镜筒

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  • lhb412809260

    第23楼2008/11/10

    1.灯丝歪了,电子束会偏转,按tilt调节
    2.调节象散很重要,这需要经验和长时间的测试
    3.导电性不好,建议喷镀市时,在银中加些铜,特别对表面较厚,有絮状的样品,喷度层要厚~
    着就是我的一些建议,仅供参考!

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  • 春天的桃子

    第24楼2008/11/10

    第一:样品有不导电现象,或者喷金不好,建议用小电流长时间
    第二:有散射现象
    第三:用慢扫

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  • huangtao0307

    第25楼2008/11/10

    设备应该没什么问题,主要还是操作问题.

    1.样品导电性太差,放电性太严重了.
    2.象散没调好,根本看不清样品.

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  • yegong2000

    第26楼2008/11/20

    请问楼主:你的样品有没有表面镀金属?
    使用了导电性基底吗?比如碳导电双面胶。
    另外,各位,像散和对中在英语中是什么?

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  • lhl_71622

    第27楼2008/11/25

    有喷金,用的碳双面导电胶

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  • wangsheng16

    第28楼2008/12/01

    像散是stigmator,对中就是center吧.

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