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【求助】等离子刻蚀参数对实验结果的影响

其他仪器综合讨论

  • 各位做过等离子刻蚀的同行们：
    我是一个新手，在刻蚀聚苯乙烯小球的时候自己设置了几个参数，但是具体每个参数对实验结果的影响还不是很清楚，先列出来Icp（w）；RF（w）；Pressure（mT）等。希望大家给予指点，不胜感激
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  • wccd1

    第1楼2015/09/16

    总功率、射频发射功率、压力三个参数。

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