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【求助】EDX高压的多少是否会影响到元素含量的准确性

扫描电镜(SEM/EDS)

  • 请问各位,EDX高压的多少是否会影响到元素含量的准确性,EDX可否用于表面元素分析,如果适合,应选择多大高压?如果不适合,请告知原因,谢谢!
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  • fengyonghe

    第1楼2009/03/20

    1 你选择的高压必须保证所有要测量的元素都能有效的激发出来
    2 改变高压后必须重新最优化和标准化
    3 再根据测试要求操作,其测试结果应该有可比性
    4 能谱测量的深度是距表面1—几个微米的元素含量。你所说的表面如果不在这个范围内,就不能用能谱测量。

    blueair 发表:请问各位,EDX高压的多少是否会影响到元素含量的准确性,EDX可否用于表面元素分析,如果适合,应选择多大高压?如果不适合,请告知原因,谢谢!

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  • blueair

    第2楼2009/03/20

    谢谢!
    再请问各元素的有效激发电压如何得知?

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  • fengyonghe

    第3楼2009/03/20

    网上百度一下“元素特征能量表“下载一个。我就下了一个。

    blueair 发表:谢谢!
    再请问各元素的有效激发电压如何得知?

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  • huangtao0307

    第4楼2009/03/23

    有效激發電壓約為主元素臨界激發電壓的2-3倍以上.
    如Cu的K線系為8.0413﹐此時的電壓最少為20KV.當然15KV也可以做﹐但不能完全將Cu激發出來。會影響到定量結果.
    常風金屬和合金﹕25KV
    硫化物﹕20KV
    硅酸鹽和氣化物﹕15KV
    超輕元素﹕10KV

    blueair 发表:谢谢!
    再请问各元素的有效激发电压如何得知?

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  • fengyonghe

    第5楼2009/03/23

    “如Cu的K線系為8.0413﹐此時的電壓最少為20KV.當然15KV也可以做﹐但不能完全將Cu激發出來。會影響到定量結果.“

    “定量分析最优化“可以解决的问题之一就是上面说的问题。

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