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【资料】多晶硅中B、P的分析

ICP-MS

  • 好像版面不少多晶硅行业的同行,发一个多晶硅中B、P的检测方法,即将发布的国标,不过用的是低温红外法,希望能有用。


    多晶硅B、P分析
    多晶硅B、P分析
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  • 风起云飘舞

    第1楼2009/04/30

    可以转到红外版本哦,呵呵

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  • 光哥

    第2楼2009/05/04

    应助工程师

    请教个问题:
    像III-V互相补偿得比较严重的硅样品,能不能用FTIR分析这些元素》???

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  • xiaohan1976

    第3楼2009/05/09

    正好用到,多谢了

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  • xiaoshull

    第4楼2009/05/09

    还有用,谢谢啊。

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  • vf11

    第6楼2009/08/18

    谢谢LZ 偶正在找类似的资料呢

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  • saintcaptain

    第7楼2009/09/07

    很好的资料,谢谢楼主

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  • suifengxiatian

    第8楼2009/10/07

    多谢! 我有一个小问题,我们国内的多晶生产厂商都是按GB 执行还是按SEMI啊?有哪位高人知道吗?

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  • 41926912

    第9楼2009/10/29

    很需要和这些相关的更多资料,谢谢

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  • steel

    第10楼2009/11/05

    是讨论稿,什么时候可以发布啊?

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