【分享】【转】真空分子泵简介+真空开机关机

对于质谱仪而言，真空系统是价格昂贵的组成部分。维护好质谱的真空系统对工作安全和降低使用成本是非常重要的。
打开真空系统
检查
1.机械泵的温度小于50摄氏度；
2.机械泵油色泽清亮，无浑浊、不透明和分层现象；
3.确保分子泵的温度小于35度；
4.如果是水冷大泵，应打开分子泵循环水，并且无漏水；
启动前机泵
1.逐个打开机械泵，听每台机械泵启动的声音，无异常；
2。打开前级真空计；
启动分子泵
1.确保前级规气压小于1Torr（对于非复合式分子泵应小于20Pa）；
2.逐个启动分子泵，听每台分子泵启动的声音，无异常；
3.分子泵在5分钟内达到全速，否则需要停机；
4.在分子泵达到全速后方可启动高真空规；

关闭真空系统
关闭分子泵
1.关闭真空系统内的其他仪器设备，温度小于35度；
2.关闭高真空规
3.关闭分子泵
关闭机械泵
1.确保分子泵转速小于30%，或已经关闭电源超过10分钟；
2.关闭前级规
3.关闭机械泵
4.打开放气伐，充入氩气或氮气、空气，5分钟后关闭；
5.关闭循环水
关机检查
1.机械泵油色泽清亮，无浑浊、不透明和分层现象；
2.循环水清亮，无浑浊；

ICP-MS长时间不用的时候最好关掉。真空的开关操作如上。

好资料啊

分子泵维护还没见过，不过从说明上看，应该可行啊

确实，厂家工程师严令禁止我们自己动手清洗分子泵...

我们作为 专业生产厂商 我们不建议用户自己对分子涡轮泵进行维护，一般都是发回厂家维护的。