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【讨论】ZEISS SEM 机械泵换油问题

扫描电镜（SEM/EDS）

  • 以前听说过换油后油被倒抽污染SEM,有点怕．不知换油时该注意什么？自己做法为：直接将泵旧油倒出，再加入新油，是否就可开SEM正常使用？望高人指点，不胜感激。
    机械泵为：Alcatel, PASCAL 2010I型；油雾过滤器为OME25Hp+；
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  • 永远的菜鸟

    第1楼2009/06/29

    倒抽油的事件，我只听说过一次。循环水出故障，不Cooling了，结果温度升老高，油被倒抽进了镜筒

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  • saj

    第2楼2009/06/29

    那就是说只有用循环水冷却的SEM才有可能会发生倒抽油，其他用空冷的SEM不会发生倒抽油？

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  • bossvip

    第3楼2009/06/29

    -------------------------------------------------------------------
    倒油跟使用循环冷却水是没有任何必然联系的。

    saj 发表:那就是说只有用循环水冷却的SEM才有可能会发生倒抽油，其他用空冷的SEM不会发生倒抽油？

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  • xcz111

    第4楼2009/06/29

    循环水不cooling，是不会出现机械泵倒抽油的

    sem1233 发表:倒抽油的事件，我只听说过一次。循环水出故障，不Cooling了，结果温度升老高，油被倒抽进了镜筒

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  • 永远的菜鸟

    第6楼2009/07/13

    倒抽油油哪些情况呢？

    xcz111 发表:循环水不cooling，是不会出现机械泵倒抽油的

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  • junhe09

    第7楼2009/07/15

    不要太担心，只要注意先把chamber充气后再关机，然后再换油

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