谢谢,怪不得扫描倒是没问题,那么透射呢?是不是校正一次就可以了?
是不是x和y两个方向都要校正?有的人量d值发现有的方向偏大,同时有的方向偏小,晕。
新手上路A 发表:俺用的是JEOL 的SEM(JSM-5310LV),听厂家的维修工程师讲‘标尺藏在仪器内部,一般情况下不会碰到,也不会变化;标尺在仪器安装是已经校正过了,一般不需要再校正。如果需要,也要让他们厂家的工程师来做。’,上个月俺把一个10µm的量尺放进去量了一下,结果是9.96µm,感觉还可以。
没有找到这方面的技术指标,也不知误差多少算合格。