【求助】透射电镜附带的能谱成分分析准确度，分析深度？

比扫描的EDS要差不少，最多半定量了，只能给你一个参考值。

TEM的电子一般可以穿透整个样品吧，分析深度就是整个样品深度了 不同地方成分不一样很正常 一个是误差的问题另一个是样品本身的均匀性 XRD怎么看样品成分啊？EDS的准确性比ICP差不少 优点是可以进行微区分析 似乎误差在10%？如果是掺杂元素那就更大了

扫描的EDS好像也就那样吧~另外扫描的话电子展宽可以到微米量级 这个问题比TEM中严重多了~

TEM的电子一般可以穿透整个样品吧，分析深度就是整个样品深度了 不同地方成分不一样很正常 一个是误差的问题另一个是样品本身的均匀性 XRD怎么看样品成分啊？EDS的准确性比ICP差不少 优点是可以进行微区分析 似乎误差在10%？如果是掺杂元素那就更大了[/quote]

首先感谢大侠回答：

XRD物相分析结果和EDS成分分析出（两个不同部分结果）的物相不一样。透射电镜是能穿透整个样品，所附带的能谱仪光斑较小，能穿透整个样品吗？只微区测量

二者差异又存在哪些其他的可能性？谢谢

只要样品透明，分析深度肯定是整个样品厚度。XRD是平均信息，TEM得到的是微观区域信息，出现差异很正常。

宏观的分析得到的是平均信息 这一点XRD和ICP是类似的 EDS只得到微区信息 而且受制于信号强度之类的因素使其信噪比不能像定量分析那么准确 再加上样品本身的不均匀性 得到不太一样的结果很正常。
比如说XRD只得到晶化部分的信息 但EDS不会管晶化还是非晶化 只要电子照在上面出现特征X射线就会被检测到~

只能定性分析，无法定量分析。

谢谢指点！