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【讨论】48V电压太低，然后等离子熄灭，什么原因呢？

以质谱优

2009/07/30

最近设备出现自动熄火，查看记录后：RF 48 Voltage is too low;plasma is shutdown.不知道什么原因，重新开机后就能用了，影响操作，耽误时间，很是头疼，大家解释一下什么原因，该怎么检修？谢谢

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风起云飘舞

第1楼2009/07/30

安的仪器吗？很正常，我发现这仪器经常会神经的，一段经常出现故障，然后折腾得大家都累了，他又恢复好了，正当我们意识到他变正常了，新毛病又出现了。累。。。
shibingo 发表:最近设备出现自动熄火，查看记录后：RF 48 Voltage is too low;plasma is shutdown.不知道什么原因，重新开机后就能用了，影响操作，耽误时间，很是头疼，大家解释一下什么原因，该怎么检修？谢谢

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