【讨论】真空和SF6的气压都正常，但Filament指示灯却不亮，是什么原因？（已解决）

现在P4好像还在慢慢自动上升，已经达到了106.

ms是测角台那里漏气了，清理一下样品台和测角台的孔道。

哪个是测角台？怎么清理样品台和测角台的孔道？

测角台就是插样品杆那个白色的突出部分。清理时，小心操作，把O型圈用乙醇清理一下，测角台里面用筷子加硅纸略用乙醇湿润擦拭干净。

已经把O型圈用乙醇清理了一下，用筷子加硅纸略用乙醇湿润把测角台里面也擦拭了一下，但还是不行。插入样品杆后拌上pump开关时的响声就不对，好像有气无力的样子。

等到把样品杆全部插入后，P4的值就开始慢慢的自动变大。

真空不好抽？～～
镜筒太潮湿吧

不会是你的DP泵的加热炉出问题了？不过真空还是能抽到20多的对吧？

你把样品杆的O型圈涂上真空脂，稍微多涂一些，然后预抽，看看是否真空会好些？

慢慢自动变大不是潮湿的问题，而是有泄露现象。