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【求助】EDX如何激发出Ta的Mζ Mγ峰？

xibinke

2009/11/05

扫描电镜（SEM/EDS）

查Ta M系的Ec是1.735KeV，而M系的Mβ Mζ Mγ M2-N4能量分别为1.770，1.331，1.968和2.226，样品是Si substrate上的Ta薄膜，Mβ可能无法分辨，但为什么我把电压加到15KV仍然看不到Ta的Mζ Mγ M2-N4呢？

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fengyonghe

第1楼2009/11/05

1 加速电压用4—5千伏，束流束斑尽量大
2 电子束穿透薄膜会出现Si-K线系，和Ta-M线系重叠。

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xibinke

第2楼2009/11/06

Ta的Ma,Mβ可能与Si的Ka重叠，但是Mζ Mγ应该不会重叠呀

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jzhx68

第3楼2009/11/06

为何一定要看到Ta的Mζ Mγ M2-N4，这些谱峰有特殊意义吗？
xibinke(xibinke) 发表:查Ta M系的Ec是1.735KeV，而M系的Mβ Mζ Mγ M2-N4能量分别为1.770，1.331，1.968和2.226，样品是Si substrate上的Ta薄膜，Mβ可能无法分辨，但为什么我把电压加到15KV仍然看不到Ta的Mζ Mγ M2-N4呢？

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xibinke

第4楼2009/11/06

需要区别Ta与Si，如有其它峰可以表征Ta的也可
jzhx68(jzhx68) 发表:为何一定要看到Ta的Mζ Mγ M2-N4，这些谱峰有特殊意义吗？

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德国工兵

第5楼2009/11/07

如果仅仅为了区分这两种元素看Ta 的La线的峰吧，这样简单多了
xibinke(xibinke) 发表:需要区别Ta与Si，如有其它峰可以表征Ta的也可

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xibinke

第6楼2009/11/09

Ta的L系Ec为9.881KeV，加速电压需要20~30KV，一般SEM提供不了这么高的加速电压，但是Ta的Mζ Mγ 与Si的Ka是相似的，理论上应该可以激发出来
德国工兵(tao______) 发表:如果仅仅为了区分这两种元素看Ta 的La线的峰吧，这样简单多了

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jzhx68

第7楼2009/11/09

为何电镜的加速电压达不到20~30KV？电镜老了？还是当初购机时要求加速电压在20~30KV以下？
xibinke(xibinke) 发表:Ta的L系Ec为9.881KeV，加速电压需要20~30KV，一般SEM提供不了这么高的加速电压，但是Ta的Mζ Mγ 与Si的Ka是相似的，理论上应该可以激发出来

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xibinke

第8楼2009/11/09

跑题儿了，老兄，我们设备主要是用来in-line测试的，而且要求电压不能过高，否则可能破坏device function
jzhx68(jzhx68) 发表:为何电镜的加速电压达不到20~30KV？电镜老了？还是当初购机时要求加速电压在20~30KV以下？

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