XPS及其它能谱仪
七月冰
第1楼2010/01/26
这里说的能谱仪都是以检测电子能量为根本特点的——X光电子能谱仪利用X光激发电子；俄歇电子能谱仪使用电子束激发电子。电镜的EDX使用电子束入射，收集信号为X光。X射线荧光原理我不是很清楚，但看名称应该是光致发光过程，激发源和被检信号应该是X射线和某波段的光信号。
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