【求助】扫描电镜(SEM)能够观察金相组织吗?

用二次电子像可以观察金相组织但不能代替金相显微镜。EBSD是电子通道花样。

同意楼上回答的，金相不能完全被扫描电镜二次电子图像代替，一些在可见光下对相同相不同取向，产生的灰度信息SEM无法反映，但是加一个EBSD附件后分析获取的信息将比金相更加全面，更加直观。

谢谢二位大师，但是，SEM配EBSD后分析金相，可否代替普通的光学金相显微镜，或者说，有没有普通光学金相显微镜具备的功能而EBSD分析却没有的？谢谢！

光镜和EBSD不能相互替代，两者使用的场合基本上完全不同，要看你分析的目的是什么。

谢谢sysmith先生,我主要是进行机械零件的失效分析,我不知道这样说够不够准确,用什么方法分析金相较合适?
另外,光镜和EBSD分别用于什么样的使用场合?
谢谢!

如果你主要是做机械零件的失效分析，EBSD基本无用。失效分析的基本手段是化学分析、低倍酸浸、机械性能、金相显微镜明场、暗场、偏光（用的少）、扫描电镜二次电子像、背散射像（是成分像不是EBSD）、能谱分析。你想了解EBSD可到网页http://baike.baidu.com/view/2002544.htm?fr=ala0_1#1

呵呵，我也是主要做机械零件失效分析的，握手先。关于光学显微镜、SEM和EBSD以及金相分析，我的体会是：

1、按现在教科书中的时髦用语，失效是机械部件对外部环境的响应行为。大体上，失效分析过程应包括机械部件服役环境的分析和机械部件本身的分析。金相分析是失效分析中一个内容，主要的分析目的是评判部件的工艺质量控制如何。

2、对于金相分析，最最常用的设备是光学显微镜。对于光学显微镜，其实际应用中的分辨率大概是1um（对应光学显微镜中的100倍物镜，即放大倍数1000倍），对于分析极细晶粒的钢铁材料金相组织有点勉为其难，如DP钢。在这种情况下，可以借助SEM的高放大倍数或分辨率来辅助进行金相分析。在通常状态下，钨丝枪SEM的分辨率大致可以达到100nm左右，FEG SEM的分辨率可以达到几十个nm左右（和SEM验收的分辨率是有差异的）。

3、关于SEM，除了上面所说的可以辅助金相分析外，其在失效分析中最大的应用方面是对断口进行分析。主要的分析目的是判断失效模式以及失效与部件微观尺度上的质量之间的关联。

4、关于EBSD，EBSD是配置在SEM上的一种微米级别分析尺度的微区晶体结构分析附件。其应用主要在两个方面：一是晶粒和织构（择优取向晶粒）分析，给出的分析信息是晶粒类型和分布，如挛晶粒、阵点重构晶粒、大或小角晶粒统计分布、织构（可以用极图、反极图、密度分布函数表征）等。二是相鉴定，主要应用在多相材料和岩相。在相分析方面，金相方法的主要途径是根据各种相的颜色和形态来判断，EDS是根据成分中的原子配比来判断，BEI是根据相的衬度（对比度）来判断，EBSD是根据相的晶体结构来判断。如对于多相有色金属材料如铝硅合金材料，金相的判断方法大致是多角片状的灰色相为初晶硅，灰色的针状或点状相为共晶硅，黑色的针状相为杂质合金相。如果用EBSD分析方法，则可以根据上述不同相的不同晶体结构差异即从相是面心立方、体心立方、正方、斜方的结构类型来进行鉴别。对于Fe-C合金，其中的相主要有奥氏体、铁素体、碳化物。不同的相机械组合构成不同的金相组织。在这种情况下，EBSD分析的主要优势是可以从晶体结构上很容易区分奥氏体、铁素体、合金碳化物（如MC、M6C、M23C6）等单相组织，但对于铁合金中常见的多相组成的金相组织，如珠光体、马氏体、索氏体、屈氏体、贝氏体等基本是无能为力的，采用光学显微镜则更为方便、快捷。所以，严格的说，EBSD不是用来做金相分析的，金相分析的手段主要还是靠光学显微镜和SEM。

以上，请各位同行和前辈指正。

EBSD不会取代金相分析，但无疑EBSD能提供的信息更多。除相的区分外，最有代表性的莫过于取向面分布分析、织构分析、晶界，尤其是小角晶界或特殊晶界的分析（金相因为需要腐蚀，很容易丧失小角晶界的信息）、残余应力分析、和能谱结合进行一些未知相的鉴定分析等。马氏体、贝氏体等，如果制样合适，再经过适当的数据处理(band slope)，也是可以区分的。
EBSD前散射探头图像


铁素体: 蓝色, 马氏体: 桔黄色


马氏体的取向面分布图（灰色为裂纹，无法解析）

恐怕最重要的需要善于应用BEI图像。

部分可查“microbeam.com.cn”中华微束分析技术平台网站。



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