使用热场SEM上配的EBSD时束斑最小能到多少

场发射电镜是没有束斑的， 所以没有 束斑调节

理论上,最小的束斑是和你的电镜的最高分辨率有关系的,比如说,现在的热场SEM一般能达到1.5nm,那么它的最小束斑应该稍微比它小点.

我不知道束班直径有多小,但是如果电镜状态好,我有时可以选择SPOTSIZE 6

哦？我注意到版主多次提到场发射没有束斑这个概念，能不能详细解释一下？否则，没人会信服你的，估计你也看到了，你说过很多次，可是论坛里依然各说各的。我觉得shxie兄（姐）及。。不好意思忘了他的ID了好像是zm..什么的，说话客观，有理有据。看了就让大家服气。呵呵，个人意见，版主不要踢我。。。。呵呵，我可是良民，只是为了更好的学东东，还有希望我们坛子了水更清澈，呵呵灌水。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。

论坛上各说各的， 由来已久， 电镜 日益成为工具， 深入了解 电镜的必要性大大地减低了。
不过我还是说， 了解电镜的操作员和不是很了解的， 还有根本不了解的，在一般的操作状况下是区别不大的， 但在 高级或者特殊操作下，区别就明显了。
关于束斑， 英文叫 SPOT， FEI叫 CROSSOVER， 是镜筒中的 电磁聚光镜 对 大直径的钨丝 电子束 作用的结果， 从发射源到 样本共有四个束斑， 即 虚拟发射源束斑， 一级聚光镜束斑， 二级聚光镜束斑，和样本观察用束斑。
一般我们提到的是最后一个。
在场发射镜筒中， 由于 发射源直径的非必要性， 所以镜筒中没有电磁聚光的存在， 因而也没有 束斑的存在。
这是严格意义上的说法， 厂家 为了迎合 早期 钨丝电镜用户的习惯， 也将束斑的概念引入了场发射镜筒中。
在低真空场发射电镜中， 镜筒中会增加一级聚光镜，但作用并不是像在钨丝镜筒中的，起到 缩小束斑的作用， 而是 稳定 电子束的。
就像我刚讲的， 电镜日益成为工具，概念正确与否关系大不大， 取决于操作员的精度。

哦！原来如此！那么场发射扫描电镜由于电子束很细，所以不需要聚光镜，电子束只有一个crossover，就是在样品表面的焦点上，所谓束斑直径就是指的这个地方，而且只是沿用钨灯丝电镜的称谓让用户好理解，我这么理解对不对？


好贴！！！！！！！！1呱击呱击！！！！

你如果用的是FEI的SIRION,SPOTSIZE 设置到5或6

是的， 不过 CROSSOVER中文叫 交叉斑， 应该只适用于 钨丝镜筒，不适用场发射。