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【求助】EDAX的线扫描问题

扫描电镜(SEM/EDS)

  • 那天有几条线扫是我自己操作的 不太熟悉
    除此外有几条是操作员 操作的
    他的数据 比如edaximg2.csv 中 Data Type 是ZAF Wt%
    意思就是在BSE下获得的各元素重量百分比的的曲线吧?
    我自己的 Data Type是 ROI counts这个 貌似是靶上接收到的电子数目么?
    部分数据如下:
    PointDistace AK BKCK BSE
    1 0 0.5 4.5 62.5 2073
    2 0.2 66 2 34 1522

    是否是说
    我现在得到的其实是 at.%呢?
    比如 点1区域 B元素的比重为 4.5/(0.5+4.5+62.5)*100%
    非常感谢
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  • xulaoq

    第1楼2010/11/01

    首先直接那样计算肯定不行,因为没有考虑ZAF校正;再之线分析不考虑背底的影响,所以即使考虑上ZAF校正,按ZAF wt%的数据类型,也会得出与理想的差很多的数据。关于ZAF校正值,在spectum界面下quant之后给出的数据中有这个校正值。

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  • liujiugao

    第2楼2010/11/01

    不好意思 不是很明白
    那么 现今 这些数据 怎么转化成 at. % 或者 wt. %呢
    非常感谢

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  • xulaoq

    第3楼2010/11/02

    这个有点难,毕竟无法知晓其数据库原始数据。你可以先测试该样品的能谱图,在组成变化不大的情况下,其ZAF校正系数相关不大,应用其ZAF校正系数,即每个元素每个强度都乘上对应的ZAF系数,再进行归一处理,可近似得出wt%的结果。这周没空,如果需要的话,下周发个示例给你。

    liujiugao(liujiugao) 发表:不好意思 不是很明白
    那么 现今 这些数据 怎么转化成 at. % 或者 wt. %呢
    非常感谢

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  • liujiugao

    第4楼2010/11/03

    这么说 悲剧了 还得重测?非常感谢

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  • 木牛谦谦

    第5楼2010/11/20

    测的时候鼠标放在数据类型上右键,然后可以选择数据类型。
    还有,就是保存数据时选择保存成dat文件,这样可以调出元数据的。

    liujiugao(liujiugao) 发表:不好意思 不是很明白
    那么 现今 这些数据 怎么转化成 at. % 或者 wt. %呢
    非常感谢

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  • liujiugao

    第6楼2010/11/21

    谢谢楼上的
    以前 没注意过 悲剧一次 以后会注意了
    后面那次 重做的时候 那个数据类型的选项看到了 非常感谢

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