【求助】求助TEM-EDS探测极限问题

F不属于超轻元素啊。一般EDS的resolution不仅要看你的仪器，也需要知道你样品大概厚度，你在STEM模式下，0.2左右MFP，0.2nm左右的probe，你可以得到2-5纳米左右的resolution

最近查了写资料说是原子序数小于11的好像就算超轻元素，一般的能谱探测范围在0.1-0.5 wt%，最新的估计在0.1-0.2 wt %，但是这个是整个Be4到U92的平均数据，引用原文来说是for most elements，我所用的电镜是JEOL JEM-2010，以前也没有接触过这一块，所以得向你们多请教。