每周一问22：离子泵是不是只有场发射电镜才会用呢？

离子泵当然不只是在场发射电子枪才有,LaB6电子枪也有.

FEI TECNAI 系列的TEM用离子泵

是啊， LAB6扫描电镜 和 透射 都用 离子泵， 但哪位见过 钨丝扫描用离子泵的呢

离子泵是属于3级泵吧，它和二级泵：分子泵、扩散泵，及一级泵机械泵，没有什么可比性吧。

renxin 发表:离子泵(ION GUTTER PUMP) 可是个 好东西， 降低真空立竿见影，价格也不贵， 比分子泵 要便宜，请问那位 见过 离子泵 应用在 除了场发射 电镜以外的镜筒上呢

您这里说的3级泵是否指用离子泵必须要用分子泵喝机械泵为子泵呢？不明白，请指教。

好象是这样,机械泵抽第一级真空,分子泵抽第二级真空,然后再用离子泵抽第三级真空,效果不错哦.

六硼化镧枪就是这么用的.

一般，机械泵称为一级泵，真空度大概在10－2Pa左右；
分子泵，扩散泵称为二级泵，真空度大概在10－4Pa左右；
离子泵成为三级泵，真空度可达10－8Pa。

正如您所说，先得机械泵工作，达到一定真空度后，二级泵工作，达到一定真空度后，三级泵才开始工作。

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正确，但 钨丝扫描电镜上面的 能谱系统 是很需要 离子泵的， 几乎没有电镜没有能谱的。