各种泵的原理

大致找了一下，有下面的一点资料：
油扩散泵

优点
 not temperamental
原则上可以抽任何不与泵油反应的气体
可长期连续使用而无需维护
便宜，因为无需特殊的控制系统

缺点

使用液体，只能垂直安装
需要冷却水以及加热需要大量的能源
与真空系统结合处需使用液氮冷阱，防止返油

分子泵

优点

 方便，无需冷阱
 原则上可把系统直接从大气压抽至超高真空
但实际上由于费时太多，并且对泵体污染较大而采用两级抽气方式，首先使用吸附泵将系统由大气压抽至约10-4 mbar，然后启动分子泵
缺点

 抽速与被抽分子的分子量有关，分子量越大，抽速越高，分子量越小，抽速越低，所以持续操作后会残余氢气（或氦气）
 有噪音，对工作环境影响大
 会产生振动，对一些振动敏感的检测手段（如STM）有很大的影响

离子泵

优点

 不使用液体
 无需冷却水或液氮
 可直接与真空系统相连
 可以任意角度安装
 无需预热
 工作时体系与外界封闭
缺点

 对真空要求高（优于10-6 mbar），否则钛板很快钝化失效
 对所抽气体有选择性，必须是与钛有反应的气体，对惰性气体无效。即使惰性气体暂时可以被掩埋，仍可能被轰击出来（记忆效应）
 溶解的氢或通过逆过程发生脱附，或与和钛结合的碳发生反应，会产生低质量数、气态的碳氢化合物，故离子泵中的主要残余气体为氢气和甲烷
 泵体笨重，由于需要强磁场，故需巨大的磁铁
 需要数千电子伏特的高压，操作时存在危险
 昂贵，需要特殊的控制系统

升华泵

升华泵特点

 辅助主泵，不可连续使用
 在对真空要求高的实验中，可将真空进一步降低到～10-11 mbar数量级
 便宜
 体积小

谢谢Shxie斑竹的回帖，这里面应该没有包括机械泵吧？！bbs里比较少谈到机械泵。

不怕你笑话，我一直以为机械泵就是油扩散泵，等renxin大侠给我们扫盲吧，呵呵。

以前我也一直这样以为，但想了一下以前在学校的日立用的是油扩散泵，好像是不一样的，而且这里也说了油扩散泵要垂直安装，我们用的泵是水平放的，而且不用加热。

机械泵是油旋转泵，必须水平放置，你们是不是弄混了？

估计你看到的水平放置的是机械泵。油扩散泵是放置在样品室下方，主机单元里的，平时盖好仪器盖板你是看不见的。