气密性是没有问题,不过是那个氢气减压阀坏了,单纯EPC坏了,不会引起减压阀次级压力表压力的波动,所以换了个新的,问题就解决了,但是我也不确定我的EPC是不是真的有问题。
因为之前出现这种情况,也没有查看减压阀的问题,只是看机子上氢气实际流量有规律的在设定值40ml/min上下波动,基线出现的小峰比这次间隔时间短,更有规律一点。希望以后不要再出现这问题了吧,换个EPC好几万,哎。
不过,还是谢谢大家!
hza123(hza123) 发表:氢气次级压力表应该是分压表的吧,分压表如果气密性好是不会波动的。