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钛酸锶基底离子减薄求助

  • miracle520
    2014/05/29
  • 私聊

透射电镜(TEM)

  • 最近再用钛酸锶基底进行低温减薄,但是发现样品很难减透.有知道原因的大神吗?
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  • 洪星二锅头

    第1楼2014/05/29

    之前同样的样品减薄速度如何,如果只是最近才出现这样的现象,可能需要检查一下离子枪

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  • miracle520

    第2楼2014/05/29

    之前钛酸锶也是很难减完,减薄仪问题没有问题,主要问题发生在钛酸锶,和低温减薄上面

    洪星二锅头(coime) 发表:之前同样的样品减薄速度如何,如果只是最近才出现这样的现象,可能需要检查一下离子枪

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  • 皓联达电镜测试

    第3楼2014/05/30

    STO本身就是比Si硬的材料,需要把它磨得薄一点再离子减薄,应该没有问题。而且其非晶层的控制会比Si容易很多。

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