扫描电镜（SEM/EDS）
qcz9999
第1楼2011/12/12
顾名思义，主要是考察仪器的某些性能
asahi42
第2楼2012/03/02
这个是换冷场发射SEM灯丝的时候工程师做的，目的是检测电子枪部分的真空度，保证灯丝在加高压时不会因为真空差导致的打火而击毁。
Frinight
第3楼2012/05/10
用30KV的高电场来电离电子枪中的气体分子，让离子泵吸收。建议仪器烘烤了之后进行。不光是冷场发射，热场发射也需要。
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