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注意:环境因素对SEM的影响

扫描电镜(SEM/EDS)

  • 这是我曾经遇到过的由于环境因素导致SEM OBJ LENS损坏。机台长期处于没有正常的温湿度控制的环境下,随着季节及天气的变化在高温湿度室内OBJ LENS内部的冷却水管会结露,长期下来会产生腐蚀现象。导致绝缘被破坏,最终导致OBJ LENS 接地。以下是分解OBJ LENS的图片。


    图5为新的OBJ LENS
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  • 〓疯子哥〓

    第1楼2011/12/14

    是室内湿度太大导致的么?如果在北方是否此现象就可以避免?

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  • linzq

    第2楼2011/12/14

    嗯,很漂亮的实例图。保留

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  • junmyliu

    第3楼2011/12/14

    没做过这方面的




    不过学习了

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  • 小M

    第4楼2011/12/14

    应助达人

    这是日立的吗?哪个型号的?

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  • ian.cheng

    第5楼2011/12/14

    金属材料似乎很难逃脱锈蚀的命运

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  • ventyxu

    第6楼2011/12/14

    恩,是的。而且他们实验的空调经常有问题。

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  • ventyxu

    第7楼2011/12/14

    机台型号为Hitachi S-4800

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  • linzq

    第8楼2011/12/15

    更要保留了,楼主有照片吗?可以给我一份吗?

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  • xx2882xx

    第9楼2011/12/15

    好贴。不过,物镜真的可以那么脏吗?

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  • 小M

    第10楼2011/12/20

    应助达人

    和林老师的同一型号

    linzq(linzq) 发表:更要保留了,楼主有照片吗?可以给我一份吗?

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