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注意:环境因素对SEM的影响

扫描电镜(SEM/EDS)

  • 这是我曾经遇到过的由于环境因素导致SEM OBJ LENS损坏。机台长期处于没有正常的温湿度控制的环境下,随着季节及天气的变化在高温湿度室内OBJ LENS内部的冷却水管会结露,长期下来会产生腐蚀现象。导致绝缘被破坏,最终导致OBJ LENS 接地。以下是分解OBJ LENS的图片。




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  • 社区=冬季=

    第1楼2011/12/19

    还没有上图片?

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  • 社区=冬季=

    第2楼2011/12/19

    仪器不是有室温控制要求吗,怎么还会受环境影响损坏掉了,是不是没装空调之类的

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  • ventyxu

    第3楼2011/12/20

    有温度控制,但是空调经常出问题。

    冬季(lylsg555) 发表:仪器不是有室温控制要求吗,怎么还会受环境影响损坏掉了,是不是没装空调之类的

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  • xx2882xx

    第5楼2011/12/28

    晕,貌似是见过啊

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