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波谱分析和能谱分析的对比

  • shamoxiongshi
    2012/01/04
  • 私聊

扫描电镜(SEM/EDS)

  • 波谱分析和能谱分析都是用于功能型电子显微镜的元素分析。波谱分析和能谱分析均能进行微区分析,波谱分析发展较早,但进展不大;近年来能谱分析成为微区分析的主要手段。两种方法比较如下:

    1.通常的能谱仪对入射X射线的吸收无法探测到超轻元素的特征X射线,但近年老出现的单窗口轻元素探测器,可同波谱仪探测器一样探测范围从B(5)到U(92),甚至还可探测Be。

    2.能谱仪接受信号范围宽,需时短。

    3.波谱仪的几何收集效率和量子效率均低于能谱仪。

    4.能谱仪造价比波谱仪低,且操作简便。
    5.能谱仪检测器的分辨率较低,谱峰重叠严重,信噪比较差。
    6.能谱中存在失真,是分析误差的来源;波谱中失真较少。


    7.由于能谱仪的一些问题引起分析误差,导致数据处理的复杂性;波谱仪的数据处理相对比较简单。

    8.波谱仪和能谱仪的空间分辨率基本相同。

    9.波谱可精确的计算成份比例。价格相对能谱贵些。

    10能谱速度快,操作简单,可以很快的判断元素的成份。
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  • 小M

    第1楼2012/01/04

    应助达人

    “由于能谱仪的一些问题引起分析误差,导致数据处理的复杂性”这个复杂性体现在哪里呢?

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  • huwang251

    第2楼2012/01/06

    分析误差的不确定性。

    小M Orz=3(mitchell_dyzy) 发表:“由于能谱仪的一些问题引起分析误差,导致数据处理的复杂性”这个复杂性体现在哪里呢?

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  • 小M

    第3楼2012/01/06

    应助达人

    这个应该可以通过软件程序,都算进去了吧,只要按键就行了

    huwang251(huwang251) 发表:分析误差的不确定性。

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  • julich

    第4楼2012/01/06

    波谱仪和能谱仪如果说区别主要有两方面,一个是结构上的区别。配备波谱仪的设备大都有光学显微镜以保证标样和待测样品处于物理上的相同工作距离;且波谱仪的出射角大都比能谱大,大出射角可以减小样品中特征X射线在样品内的吸收,从而减小样品吸收修正,提高定量准确度。另一个主要是能量分辨率的区别,一般能谱分辨率125ev,波谱大约5-10ev,提高了1个数量级,可以想象,如果能谱把Ag和Cd不能很好区别,定量准确度一定要差很多。因此波谱的高分辨率可以大大减少重叠峰,这是波谱定量结果准确得多的一个重要原因。另外,波谱分析时要求的束流要大,计数就高,统计误差小;配备波谱的设备大都束流稳定性好,漂移少,所以定量准确度要高些。

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  • 毒菇九剑

    第5楼2012/01/06

    波谱仪的定量必须用标样,而能谱仪的无标样定量还是不错的。

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