julich
第4楼2012/01/06
波谱仪和能谱仪如果说区别主要有两方面,一个是结构上的区别。配备波谱仪的设备大都有光学显微镜以保证标样和待测样品处于物理上的相同工作距离;且波谱仪的出射角大都比能谱大,大出射角可以减小样品中特征X射线在样品内的吸收,从而减小样品吸收修正,提高定量准确度。另一个主要是能量分辨率的区别,一般能谱分辨率125ev,波谱大约5-10ev,提高了1个数量级,可以想象,如果能谱把Ag和Cd不能很好区别,定量准确度一定要差很多。因此波谱的高分辨率可以大大减少重叠峰,这是波谱定量结果准确得多的一个重要原因。另外,波谱分析时要求的束流要大,计数就高,统计误差小;配备波谱的设备大都束流稳定性好,漂移少,所以定量准确度要高些。