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问:关于Hitach 中low detector 和 high detector

扫描电镜(SEM/EDS)

  • 对于Hitach 的机器,SE mode有low detector 和 high detector两个选项。好像前者是多探测BSE信号些(但图像与BSE mode很不相同);后者则多探测 SE信号些。

    不明白这和BSE,SE两种mode的定义到底有哪些不同?
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  • kitty_zhang

    第1楼2006/05/18

    楼主要买电镜吗?

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  • ljiang8

    第2楼2006/05/18

    现在用的就是Hitach4500. 一直没对这个概念搞清楚。不知道hitach 4700,4800是不是也有这个概念。

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  • SHMILYLQ

    第3楼2006/05/19

    HITACHI S-4700和S-4800也有高低探头之分,高位探头做高倍图象及分辨率时要用,低位探头含有较多的BSE信号。

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  • lilyscorpio

    第4楼2006/05/19

    Hitach S-4800分mix,low和high三种情况,高倍用high,低倍仪器会自动切换到low,mix很少用

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  • fairychen

    第5楼2006/05/23



    Hitachi S-4800, S-4700 & S-5200 都有 Low Detector and Upper Detector.事实上,这两个 Detector 都是属于 SE detector。

    Upper Detector 除了收集由样品本身产生的二次电子外,同时还会收集由 BSE 激发上电极板所产生的 SE. 所以 Upper Detector 所看到的图象因 SE 信号的增加解吸度会增加。

    Low Detector 可以收集一些小角度的 BSE 以及SE.但是, Low D 和High D 所收集的 SE,因为 Primary Beam, 样品以及 Detector 三者的角度关系变化了,故 Low D 所收集的 SE 与 Upper D 所收集的 SE 它们所携带的是样品表面信息是来自不同角度的。另外由于 Low D 所探测的 BSE 相对与 Upper D 多一些,又由于 BSE 来源携带的是 样品的深度信息,所以 Low D 看到的图象解析度会比较差。


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  • 共工

    第6楼2006/05/25

    日本货总是故作玄虚,
    低位 LOWER的 就是大家常用的 二次电子检测器, FEI叫 ETD, 这是学名, EVERHART THORNLEY DETECTOR, 高位 HIGHER的 就是大家常用的 INLENS 二次电子检测器, FEI叫 TLD, 就是 THROUGH THE LENS。
    听起来听悬, 其实大家都知道。

    fairychen 发表:

    Hitachi S-4800, S-4700 & S-5200 都有 Low Detector and Upper Detector.事实上,这两个 Detector 都是属于 SE detector。

    Upper Detector 除了收集由样品本身产生的二次电子外,同时还会收集由 BSE 激发上电极板所产生的 SE. 所以 Upper Detector 所看到的图象因 SE 信号的增加解吸度会增加。

    Low Detector 可以收集一些小角度的 BSE 以及SE.但是, Low D 和High D 所收集的 SE,因为 Primary Beam, 样品以及 Detector 三者的角度关系变化了,故 Low D 所收集的 SE 与 Upper D 所收集的 SE 它们所携带的是样品表面信息是来自不同角度的。另外由于 Low D 所探测的 BSE 相对与 Upper D 多一些,又由于 BSE 来源携带的是 样品的深度信息,所以 Low D 看到的图象解析度会比较差。



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  • wbslandy

    第7楼2007/07/07

    本人单位目前用的电镜种类较多, 场发射的有HITACHI S-5200的, S-4800的, 还有JEOL公司的JSM-6700F, JSM-7400, JSM-7500的, JSM-6335,JSM-6301等等,钨灯丝的有JSM-5600, JSM-5800的, 它们所配备的探头名称大多不一样, 如S-5200的Inlens探头和它的YAG背散和普通背散探头;S-4800的SE(U),SE(L)探头;
    JEOL公司的JSM-6700F配的LEI探头,强场激发锥形SEI探头,等等这些探头把我都弄糊涂了, 不知坛子里的哪位大侠帮忙厘清一下,不胜感激.

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  • wbslandy

    第8楼2007/07/22

    纠正一下. 这位兄弟把S-5200与其他型号的弄混了. S-5200属于Inlens类型的, 样品和二次电子探头都在物镜内, 它的二次电子探头通过一个特殊的过滤场接收的基本上全是二次电子. 而S-4800则属于Semi-Inlens 类型, 仅仅有一个二次电子探头在物镜内, 但样品并不在内.

    fairychen 发表:

    Hitachi S-4800, S-4700 & S-5200 都有 Low Detector and Upper Detector.事实上,这两个 Detector 都是属于 SE detector。

    Upper Detector 除了收集由样品本身产生的二次电子外,同时还会收集由 BSE 激发上电极板所产生的 SE. 所以 Upper Detector 所看到的图象因 SE 信号的增加解吸度会增加。

    Low Detector 可以收集一些小角度的 BSE 以及SE.但是, Low D 和High D 所收集的 SE,因为 Primary Beam, 样品以及 Detector 三者的角度关系变化了,故 Low D 所收集的 SE 与 Upper D 所收集的 SE 它们所携带的是样品表面信息是来自不同角度的。另外由于 Low D 所探测的 BSE 相对与 Upper D 多一些,又由于 BSE 来源携带的是 样品的深度信息,所以 Low D 看到的图象解析度会比较差。



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