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离子显微镜

hank_xu

2006/05/18

扫描电镜（SEM/EDS）

各位,我想请问一下离子显微镜和电子显微镜之间的差别是什么呀?为什么我这里都是叫离子显微镜呢?

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sunny2000

第1楼2006/05/18

没听过这个咚咚

0

zhp5238

第2楼2006/05/23

应该是FIB和SEM的区别吧,简单的来说可以理解为入射束不同,FIB是ION BEAM,SEM是ELECTRON BEAM,前者分辨率会低很多,主要用来给TEM做样品制作,以及一些超薄样品的制作,以及半导体晶圆生产中的特殊应用.

0

共工

第4楼2006/10/07

大错特错。
FIB是离子筒，是附加在使用电子筒的电镜上的，直接利用离子束的离子镜现在全球只有一家能做。
离子镜的分辨率要比电镜的好得多。
我会单开一个帖子，专门讨论离子镜，叫ANASPEC每周一问新五。
zhp5238 发表:应该是FIB和SEM的区别吧,简单的来说可以理解为入射束不同,FIB是ION BEAM,SEM是ELECTRON BEAM,前者分辨率会低很多,主要用来给TEM做样品制作,以及一些超薄样品的制作,以及半导体晶圆生产中的特殊应用.

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