扫描电镜（SEM/EDS）
sunny2000
第1楼2006/05/18
没听过这个咚咚
zhp5238
第2楼2006/05/23
应该是FIB和SEM的区别吧,简单的来说可以理解为入射束不同,FIB是ION BEAM,SEM是ELECTRON BEAM,前者分辨率会低很多,主要用来给TEM做样品制作,以及一些超薄样品的制作,以及半导体晶圆生产中的特殊应用.
共工
第4楼2006/10/07
大错特错。FIB是离子筒，是附加在使用电子筒的电镜上的，直接利用离子束的离子镜现在全球只有一家能做。离子镜的分辨率要比电镜的好得多。我会单开一个帖子， 专门讨论离子镜，叫ANASPEC每周一问新五。
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