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低电压BSE像——传说中的Super E cross B

  • asahi42
    2012/10/05
    《分析化学》
  • 私聊

扫描电镜(SEM/EDS)

  • 一次,拿到一个抛光了的Al-TiC-Zr,要求用场发射看BSE像。按照常规,上PDBSE(半导体背散射)探头,用15kV看,打出来是这么一个效果:



    对结果相当的不爽,因为很明显,打得太深了。于是,改用3kV:



    更不爽,因为信噪比不理想。原因很简单,这个时候BSE信号的能量是3kV,在半导体BSE探头检出下限附近,信号肯定不会好。于是,改用Super Ecross B:



    爽多了。但是图像噪点还是多。因为半导体BSE探头在物镜极靴下面,启动它,肯定要牺牲一部分工作距离。但是Super E cross B就完全没有这个顾虑。所以,抬升:



    瞬间就满意了。Z衬度很不错的一张表面BSE像。
  • 该帖子已被版主-加10积分,加2经验;加分理由:写的老好了~~
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  • asahi42

    第1楼2012/10/05

    照完了3kV,心里又开始长草:如果加速电压更低点,会怎么样?心动不如行动,1kV:



    虽然有心理准备,但是看得还是很绝望。不过值得安慰的是,在远低于半导体背散射电子探头检出下限的加速电压下,竟然总算还能成像……显然,超低加速电压下,启用PDBSE探头不是一个好主意。那Super E cross B效果如何?



    果然,信号量上来了,表面信息量也更大了。但是和刚才一样的情况,工作距离太大。于是,继续抬升。



    完成了一张极表面的,Z衬度理想的背散射电子像。

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  • ldgfive

    第2楼2012/10/05

    应助工程师

    这是什么仪器呀?
    主要是做什么项目用的呀?

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  • asahi42

    第3楼2012/10/05

    最终,Super E cross B系统给了我们在1kV和3kV下非常理想的BSE信号,那两张图片也许可以用来深入研究,或者用来发文章。但是这绝对不意味着其他的照片都是废品。所有的扫描电镜操作员都应该知道,最费时间的不是制样,不是拍照片,而是找条件。每一个样品,要达到某一个效果,也许只有一组条件配比是最合适的,而我们付出的大量的工作,就是通过证明别的配比不合适,通过穷举法和排除法,为以后的自己和别人节约时间和精力。

    所以,我不仅不会说之前的图片都是失败,反而我还会更看重那些不合适的条件。一张完美的电镜照片只是一个结果,但是这个结果只有和一系列不完美的照片配合起来,才能够成为一个完整的故事。这个故事描写了我们克服挫折走向成功的努力过程,更能够见证我们通过点滴积累,思维、心智都在日趋成熟。

    我们应该允许失败,更何况,之前的那些照片根本就不能算失败。作为一个AE,平时当然要在客户面前尽可能做到一次成功,但一个人在实验室,够空的时候,我更喜欢正交出好多条件,拍上一个矩阵的照片,慢慢看,慢慢挑,只有在能说清楚为什么别的条件都不合适的基础上,我才能理直气壮地告诉客户,您的这个样品,用这个条件最好!

    感谢我父母的基因没有让我成为急性子,也感谢我先前的老板,同济大学的祝建教授,要不是他宽容了我的失败,也许我到现在还在郁闷地延期。当然,我前面啰啰嗦嗦那么一大堆,也无非是想跟祝教授说,其实我之前的那些实验结果,并不能算失败,对吧~?

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  • asahi42

    第4楼2012/10/05

    您跟得也太快了~插队哈?不是项目,竞争性做样而已~

    ldgfive(ldgfive) 发表:这是什么仪器呀?
    主要是做什么项目用的呀?

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  • ldgfive

    第5楼2012/10/05

    应助工程师

    什么叫竞争性做样呀

    楼主给普及一下吧

    asahi42(asahi42) 发表:您跟得也太快了~插队哈?不是项目,竞争性做样而已~

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  • asahi42

    第6楼2012/10/05

    就是。。。拿照片跟别的厂家同类仪器PK,忽悠客户买我们的,别买他们的~

    ldgfive(ldgfive) 发表:什么叫竞争性做样呀

    楼主给普及一下吧

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  • ldgfive

    第7楼2012/10/05

    应助工程师

    原来是这个意思呀,我还以为是新方法呢,见笑了

    asahi42(asahi42) 发表:就是。。。拿照片跟别的厂家同类仪器PK,忽悠客户买我们的,别买他们的~

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  • 社区=冬季=

    第8楼2012/10/05

    最后一张是不是有磨痕

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  • zsj201204

    第9楼2012/10/05

    图上是什么?看来看去没啥大区别

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  • asahi42

    第10楼2012/10/05

    感觉上好像是擦上去的油印子,或者是酒精什么的挥发残留物。样品用体视镜先看过,基本没有明显划痕~

    冬季(lylsg555) 发表:最后一张是不是有磨痕

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