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喷碳过程遇到的问题

  • tangyang1983
    2012/10/08
  • 私聊

扫描电镜(SEM/EDS)

  • 仪器型号为真空喷镀仪JEE-420,喷碳过程中每次都只能十几秒就熄火了,升高电流,碳条接触部分发红发亮,至电流40左右,才开始喷溅火花的,然后闪一闪的坚持十几秒,突然亮一下就熄火了,每次都是,怎么办啊!
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  • sept

    第1楼2012/10/08

    是不是真空度的问题啊

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  • 小M

    第2楼2012/10/08

    应助达人

    没有用过,等待高人

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  • asahi42

    第3楼2012/10/08

    感觉像是在蒸镀过程中真空恶化导致的。LZ蒸镀前有没有烘烤过碳棒?就是用中等电流将碳棒加热至红热但不到红炽,这个时候不放样品,但可以把碳棒里面的空气都赶走。

    只是个人判断,LZ联系一下JEOL的维修工程师看看?

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  • fengyonghe

    第5楼2012/10/08

    正常的就是这样。喷碳过程中碳以原子态蒸发出来并使真空度很快下降,这不是由于气体引起的。要重复几次这个过程才能喷好碳。

    碳棒需要磨成这两种形状中的一种,电流会明显减小,大约20左右。

    tangyang1983(tangyang1983) 发表:仪器型号为真空喷镀仪JEE-420,喷碳过程中每次都只能十几秒就熄火了,升高电流,碳条接触部分发红发亮,至电流40左右,才开始喷溅火花的,然后闪一闪的坚持十几秒,突然亮一下就熄火了,每次都是,怎么办啊!

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  • asahi42

    第6楼2012/10/08

    受教~!

    fengyonghe(fengyonghe) 发表:正常的就是这样。喷碳过程中碳以原子态蒸发出来并使真空度很快下降,这不是由于气体引起的。要重复几次这个过程才能喷好碳。

    碳棒需要磨成这两种形状中的一种,电流会明显减小,大约20左右。

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  • tangyang1983

    第7楼2012/10/09

    请教:尖角接触45°的斜面好呢,还是直接接触平面

    fengyonghe(fengyonghe) 发表:正常的就是这样。喷碳过程中碳以原子态蒸发出来并使真空度很快下降,这不是由于气体引起的。要重复几次这个过程才能喷好碳。

    碳棒需要磨成这两种形状中的一种,电流会明显减小,大约20左右。

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  • fengyonghe

    第8楼2012/10/09

    如果你有碳棒磨削工具,加工后就是直接接触平面,没有这种工具只好磨成尖角的。

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  • 小M

    第9楼2012/10/09

    应助达人

    削铅笔的卷笔刀行吗?

    fengyonghe(fengyonghe) 发表:如果你有碳棒磨削工具,加工后就是直接接触平面,没有这种工具只好磨成尖角的。

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  • fengyonghe

    第10楼2012/10/09

    碳棒硬而脆卷笔刀不行吧。

    小M(mitchell_dyzy) 发表:削铅笔的卷笔刀行吗?

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