求教：SEM 获得的图片信息中电子束一般探测薄膜样品多深？

cxlruzhou

2006/05/29

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扫描电镜（SEM/EDS）

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SEM 是根据二次电子成像，我想知道通常获取的SEM照片, 电子束一般探测薄膜样品多深？仅仅是表面很薄的表面信息么？

xrd 一般能探测多少？是1微米量级左右么？

他们（SEM和XRD）两者获取的结构信息差别有多大？对于制备的样

品来说，它们通常相互补充说明薄膜结构方面的信息，特此向大虾请教！

多谢。。。

annelugel 2006/05/29

SEM一般有二次电子像和背散射像，二次电子一般来自样品表面的5-10nm的区域，能量为50eV，二次电子产额随原子序数的变化不大，它主要取决于表面形貌。X射线一般在试样的500nm-5mm深处发出。

奔跑的蜗牛 2006/05/30

对不同的样品成分，SEM和XRD探测的深度都是不一样的，在不同的操作条件下，SEM的探测深度也是不一样的。SEM侧重于形貌，XRD侧重于结构信息，象晶面间距等。

cool_blood520 2006/05/30

XRD样品的结构信息来自整个樣品内部和表面,一般大於1000nm,而SEM 探测的仅仅是薄膜表面的结构信息0~10nm(視加速電壓和樣品密度而言)。EDS 探测的微观结构信息多于SEM 直接观察的结果是樣品表面到樣品內部1000nm左右處的樣品元素組成信息. [img]https://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2006/05/200605311241_19359_1684752_3.jpg[/img]

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annelugel

第1楼2006/05/29

SEM一般有二次电子像和背散射像，二次电子一般来自样品表面的5-10nm的区域，能量为50eV，二次电子产额随原子序数的变化不大，它主要取决于表面形貌。X射线一般在试样的500nm-5mm深处发出。

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cxlruzhou

第2楼2006/05/29

非常感谢！

依此看来，xrd 得到的关于薄膜样品的结构信息来自整个薄膜内部和表面（这里指常规的out-of-plane XRD- 扫描方式, 而不是小角衍射等扫描方式），而SEM 探测的仅仅是薄膜表面的结构信息（微观结构外在表观的形貌特征）。XRD 探测的微观结构信息多于SEM 直接观察的结果。这种看法妥当么？

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annelugel 发表:SEM一般有二次电子像和背散射像，二次电子一般来自样品表面的5-10nm的区域，能量为50eV，二次电子产额随原子序数的变化不大，它主要取决于表面形貌。X射线一般在试样的500nm-5mm深处发出。

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奔跑的蜗牛

第3楼2006/05/30

对不同的样品成分，SEM和XRD探测的深度都是不一样的，在不同的操作条件下，SEM的探测深度也是不一样的。SEM侧重于形貌，XRD侧重于结构信息，象晶面间距等。

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cool_blood520

第4楼2006/05/30

XRD样品的结构信息来自整个樣品内部和表面,一般大於1000nm,而SEM 探测的仅仅是薄膜表面的结构信息0~10nm(視加速電壓和樣品密度而言)。EDS 探测的微观结构信息多于SEM 直接观察的结果是樣品表面到樣品內部1000nm左右處的樣品元素組成信息.