扫描电镜（SEM/EDS）
wjianna
第1楼2006/06/19
如果要在扫描电镜上分析，将样片断面抛光后用能谱面扫描或者线扫描试试看，如果膜层厚度较大（微米级）应该不困难。薄膜就只能考虑用场发射电镜。另一个办法是将抛光好的断面做侵蚀（化学法）或者刻蚀（比如用FIB）,然后用二次电子观察。
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