扫描电镜（SEM/EDS）
zhuyb1
第1楼2013/04/27
原理和普通物镜没什么区别，只是样品处的磁场非常大。优点就是球场系数，色差系数小，分辨率高。缺点就是对样品限制大，样品处于强磁场区域。
linzq
第2楼2013/04/27
其实球差校正在扫描电镜中的作用到底如何？还值得探究。色差主要应该是和电子光源有关。分辨能力高主要还是和信号量的获取有关。扫描电镜的分辨能力主要还是和主要信号激发范围有关，透镜磁场对球差、色差的影响应该不是主要因素。还有浸没式的分辨能力提高还和样品有关，它的样品不能太厚，可能也对信号发散有好的影响。
fengyinqiao
第3楼2013/05/06
非常感谢！
另一半是孩子
第4楼2013/05/07
浸没式透镜因为磁场外漏，所以EBSD图像会畸变
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