您观察过分子泵关闭后需要多长时间才能完全停下了或您猜想需要多长时间停下了？

10分上下，不过泵没完全停时（大概早半分钟），窗口已提示

ok to power off .（非错误）

应助达人

自动关闭一般是30-40分钟，还要看离子源和四级杆的温度。

应助达人

大概是5-10分钟，分子涡轮泵就能停下来（不算降温的时间），判断停没停的方法我们是用的机械上的方法，用手紧握螺丝刀把，并在顶部形成空腔，然后把螺丝刀顶在真空腔门上，把耳朵贴紧手握的空腔就能听到里面分子涡轮泵转不转了。如果在转是能听到轻微的摩擦振动声的。

我觉得5分钟吧大概，当然不包括等离子源等降温的时间。涡轮分子泵的转速是0了，应该就是完全停下了。

没认真注意这问题。一般点自动关机等到软件提醒关机完成，此时分子泵已停下来很安静了，，重新开机也是一个小时后的事了。

应助达人

安杰伦5975分子泵完全停下来是大致20-25分钟。

15分钟差不多吧。

应助达人

10分钟估计不能完全停下来的，关机问题不大，反正不用了。

应助达人

离子源和四级杆的温度降低100度以下的时间要比分子泵停下来的时间长一倍左右吧。