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S4700进行Beam Align时无circular beam出现！

扫描电镜（SEM/EDS）

  • S4700进行第一个样品测试时完全正常，换成第二个样品时在低倍和高倍下均无图像出现，怀疑是对中不好，然后进行"Alignment"操作，进行Beam Align操作时，无论怎样调节亮度、对比度以及“十”字坐标位置均无circular beam图像（圆形的亮斑）出现。电压、电流均正常，引出电压为5.1KV。

    请各位大侠帮忙看下是啥原因呢？

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    +关注 私聊

  • 小M

    第1楼2013/07/25

    应助达人

    帮顶，日立的来看看

0
    +关注 私聊

  • cvbs11

    第2楼2013/07/26

    请先做好机械对中再调整，步骤如下：









    这样就可以找到电子束斑了，以后要定期做Baking，做后都要做对中

1
    +关注 私聊

  • Insp_1f4a0522

    第3楼2019/05/02

    您好！我也碰到了同样的现象，现在解决了吗？能分享您的解决办法吗？

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