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SEM相关配置

gongmingming

2013/07/25

扫描电镜（SEM/EDS）

SEM高,低空有什么特别的区别,如果只配置高真空的话,低真空是不是就做不了, 我们的样品未不导电的氧化铝粉末.

另外,样品台马达,应该怎么选择比较好, 5轴全自动的是不是要好一些,但是维护成本比较高吧, 选择手动的话,是不是对操作人员要求很高

谁有样品台马达的示意图和各方向的作用(X,Y,Z,T,R)等

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小M

第1楼2013/07/25

应助达人

全自动马达方便控制一些吧，可以用计算机控制，手动的精度没这么高吧。
XYZ应该好理解吧，T是倾斜，R是旋转。

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gongmingming

第2楼2013/07/26

谢谢
小M(mitchell_dyzy) 发表:全自动马达方便控制一些吧，可以用计算机控制，手动的精度没这么高吧。
XYZ应该好理解吧，T是倾斜，R是旋转。

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小M

第3楼2013/07/26

应助达人

高低真空就是真空度不一样，相同于不同的模式，没有配低真空的话，就没有这个模式和相应的探头，当然做不了低真空
gongmingming(gongmingming) 发表:谢谢

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cvbs11

第4楼2013/07/26

低真空是用来做导电性相对较差的样品的，至于载物台自动和手动各有各的优缺点：自动的精度高，定位准，但相对故障率也多一点，维护成本高。手动的精度虽然差点，我个人觉得更便于控制，尤其是样品形貌比较复杂而且高度较高的情况下手动很重要。

至于坐标轴和我们常用的稍有区别，X和Y是相反的，T是整个平面的倾斜轴

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purple_17

第5楼2013/08/04

不导电的样品如果用高真空的模式一般都需要导电处理；用低真空的话可以通过腔室里残余气体中和掉不导电样品积累的电荷，这样样品就不用经过处理而可以观测到原始的表面形貌了

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