透射电镜（TEM）
CFI
第1楼2013/08/22
1）一般做暗场像直接通过物镜光阑套住衍射斑就可以实现，中心暗场貌似要切换到Dark模式，倾转电子束；2）几十纳米获得单个析出相的斑点也是可以实现的，不过很微弱吧；3）能谱分析可采用的最小束斑尺寸和电镜的规格有关吧，不同电镜能达到的精度不同。期待大牛补充。
lxbbcy
第2楼2013/08/22
晶带轴不同，衍射斑点在透射斑点的各个方向上，都是通过机械调节物镜光阑套的吗？如果套住衍射斑点成像，光路是不是就不对中了？
w4m0330
第3楼2013/08/26
（1） 我的经验是机械移光阑方式和转光束方式得到的像差别微乎其微。再者，偏转光束之后找到同样的双束条件做暗场，样品还要做很小的偏转来补偿。一般低指数衍射斑到透射斑的夹角只有几个mrad，由此引入的像差很小，可以忽略。（2）可以做纳米束衍射，或者用STEM最小的probe单点探测，用底片或者CCD拍。（3），不知道
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