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关于E-1010离子溅射仪

其他仪器综合讨论

  • （1）在较长时间抽真空后，E-1010离子溅射仪的泵中的油大量进入样品室，然后漏进仪器里面，求原因？（2）仪器里面的油无法全部清理干净，继续进行喷镀，会有危险吗？
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  • wccd1

    第1楼2015/01/09

    真空漏油是真空泵的问题，只有更换无油真空泵才能彻底解决漏油问题。

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