asahi42
第9楼2013/10/19
首先先明确定义三个概念:
电镜电子束(一次电子)在样品轰击点上直接激发出的SE,称为SE1;
一次电子与样品原子作用后发生偏转,偏转后的高能电子继续与样品别的位置的原子发生作用,产生SE,称为SE2;
SE1和SE2主要反映样品的表面形貌。
一次电子与样品作用,形成逸出样品表面的高能背散射电子。所有没有被探头接收到的高能BSE都有可能打到电镜样品仓内的其它部分,并以相同原理激发出SE信号,这类SE信号称为SE3。
SE3可以间接反映出当前扫描点上BSE信号量的大小。
然后请返回去看看是不是能够帮助理解~