XRF和EDS应用领域？

有条件的话, EDS和XRF都可以有, 两者有相同之处, 但也有区别,

EDS能做样品元素面分布图，可对样品中存在的小质点做成分分析。X荧光光谱仪的分辨率要差得多了。

但是据我所知，好像X荧光光谱仪测试成分更加准确一下，其测试下限比能谱仪要高？

不知道您那边主要做什么材料呢，如果几乎都是单质比如半导体Si啊，绝对不会有其他夹杂物，或者都是高聚物C偶尔O或F也不是关注的对象的话，那基本不需要做能谱了。

扫描配能谱主要强调微区的概念。比如你做钢铁或者其他金属材料，经过高温或者高应力等条件下，晶界出现析出物，SEM可以看到有析出物产生，而想确定是什么，那就需要用能谱做点、线、面分析了。甚至还需要做EBSD去确认结构等确定相。
当然你可以用光谱仪，但光谱仪通常是整个样品。你可以测出样品含Cr10%,而Cr是分布在晶界还是分布在晶内，与微区有关的，你就需要用SEM+EDS了。

如果更多信息，您可以直接给我留言，谢谢

看你的需要把，如果你无需作MAP图并且目标物颗粒都比较大就根据需要选吧。

一个关注宏观成分信息，一个关注微观成分信息！

XRF没有分辨率一说哦，因为X射线不能像电子束一样被聚焦。相反，如果要说元素分辨率，XRF中的WDXRF比起EDS那是好太多了。

你前一部分说的没错，XRF的束径最小也有0.1mm，没有资格谈分辨率，但是我们心中有数，它的分辨率大于0.1mm。正因为如此XRF中的WDX作为宏观分析精度高，其最小分析直径(分辨率)也是大于0.1mm。扫描电镜EDS的优势是对样品中的细小质点分析，所以XRF和EDS各有自己的应用领域，不能抬举一个否定一个。其实扫描电镜也可以装WDS。

EDS主要是半定量分析，对于微量元素一般测不出来，XRF属于定量分析，可以分析微量元素，对于100ppm或更少的元素需要标样。目前EDS和XRF都可以配在电镜上使用，相辅相成，也可以一体化。不过EDS和XRF对于轻元素分析相对来说还是不够准确