扫描电镜(SEM/EDS)
小M
第1楼2014/03/24
各种V是valve阀门,RP是旋转泵,DP是扩散泵,SIP是离子泵吧,PIG应该是潘宁规,PEG也是什么规,都是监测真空值的。工作原理就是泵从下往上一级一级的抽,到了各自的真空管辖范围就开始工作。离子泵是维持GUN的真空的,一直工作。V2左边和N2气瓶连接在一起,出样的时候往样品室充N2去掉真空。
小兔3
第2楼2014/03/29
谢谢,多谢!
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