刚发现的问题，一起聊聊。（点火的）

　　是哪一家的仪器，如果不是雾室排液口堵了就先检查一下气路。

熄火或点火时“砰”声，是自激或它激式RF发生器关闭或工作时的响声，这种声音较为沉重并来自仪器内部，如果是清脆的响声是由等离子体焰部分发出的，由于是刚拆洗过炬管，怀疑是重新连接时各部分有松动漏气的问题造成的等离子体炬的熄灭。焰炬的熄灭主要是由源发功率设置不当及气体不纯或漏气造成的。

问下仪器工程师吧！！

问了FR发生器要7万块呀。那东西能自己修吗？

这种专业性的部件自己是很难修理的，还是以厂商的修理为最好。但应在工程师的确认前提下才能决定的。

重新拆下来在好好装下,可能是哪里没装好,特别是雾化气部分的

我们的点火器坏过一次，保修期内，没花钱，但是等了8天才开工。

重新安装的矩管位置要准确

有同感！！！！！