STEM和TEM的能谱分析有什么区别吗？

没什么不一样吧~~~~~

好吧，那为什么打出的成分会相差很多？

是EELS还是EDS

我们的能谱更奇葩，打什么都有铁峰

EDS

对啊，会冒出根本不存在的氟，而且铁峰超级高。。。我现在在想是不是分析软件的问题？又或者是其他原因。。。反正差别很大，，，对了，这两种模式是在两台电镜上做的，但是是同一个型号的电镜。因为之前的约不到了才换的

由于STEM采用的是汇聚电子束，可以比较精确地打在一个小区域，因此可以比较把握地说就是你打的那个点的成分。

TEM模式下电子束的控制能力差，即使你把束斑汇聚在一点，仍然有很多杂散电子！可能来自光阑等等部件，得到很多其它元素也就不足为奇。因此，我通常只用TEM模式检查关心的那个元素在不在（为了确认所找的区域正确）

其他还有很多因素以前在另一个帖子说过，比如
1）来自样品杆的信号（所以要采用低背景样品杆）
2）来自支持网的铜等金属，来自支持膜的碳、氧、硅是常见的

除了事先采取措施避免干扰，剩余的就只有说明某个元素是来自支持网或者支持膜。

至于说氟元素，多半是错误标定。自动标定的结果很多时候是有错误的，需要 根据多组峰的印证，或者分峰拟合来进一步确定。氟和铁的L峰就很靠近

我觉得不是电镜的问题也不是软件的毛病，有可能是样品还有你本人的问题。首先你得确定样品很均匀，这个是测试的基本前提，不存在人为选择测试区域不同的影响。其次，你的分析有很大问题，为什么要拿这两种模式下得出的结论来对比？TEM定点，STEM呢？我不得而知。