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求助:SEM照片为何在样品边角特别亮,除了二次电子产额还有体积效应?

扫描电镜(SEM/EDS)

  • a 为入射电子束与试样表面法线之间的夹角,当对光滑试样表面,入射电子束能量大于1KV且固定不变时,二次电子产额反比于a的余弦。
    上面的比较好理解。请看下面:由于作用体积的存在,在断口峰,台阶,突出的第二相粒子处的图像特别亮。
    如何解释?
    请各位不吝指教!谢谢!
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  • 小石头

    第1楼2006/10/13

    电子束与样品作用是梨形区域,但我还是不懂所谓体积效应,请各位指点迷津...

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  • miumiu

    第2楼2006/10/13

    主要是不方便给你画图,我就简单说一下吧,
    当表面是光滑的平面的时候,入射电子束且与表面法线平行时,入射角认为是0度。这时,我们假定入射深度为Lmm.当样品表面倾斜60度,则入射电子束的有效深度增加为2L,入射电子使表面5~10nm的作用体积内逸出表面的二次电子数量增多。
    尖端处放电,也就是二次电子作用体积的增大,是同样的道理。

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  • 小石头

    第3楼2006/10/13

    谢谢!你的意思是说边角的地方电子束激发的二次电子深度大体积也大?

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  • 小石头

    第5楼2006/10/13

    楼上的兄弟有没有好的资料推荐?比如书籍?谢谢!

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  • teufelmond

    第6楼2006/10/23

    这个就是所说的尖端效应吧?

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