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【讨论】XPSPeak软件的使用技巧

XPS及其它能谱仪

  • 对于非晶碳膜的XPS采用XPSPeak与Origin软件同时进行拟合。

    在Origin中操作方法步骤为:shirley去本底,曲线光滑,高斯函数拟合(origin中没找到GL函数),拟合时设置sp3与sp2峰值差为0.9eV,采用四峰拟合得到不错的结果,如图1所示。

    但是我用相同的数据在XPSPeak里面得不到相近得结果,不知该如何设置?XPSPeak得结果如图2所示。

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  • feiliao

    第1楼2006/10/28

    XPSPeak的各参数设置情况见下面各图。






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  • feiliao

    第2楼2006/10/30

    希望做过DLC膜XPS分析的指点一下,非常感谢!

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  • tianlaiziguang

    第3楼2007/07/13

    “Peak Type”是否需改为“s”类型啊?碳没p轨道吧?
    “Option”选项里,我的一直默认Newton方法(就是下面那种),没改过,因为不懂。

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