EDS点分析与区域分析影响

还是举你遇到问题的例子吧

冯老师，因之前看到过有人这样写:在EDS采集样品信息时，一般建议用取点分析，而不是取框，因为如果不做设定，通常一个点的分析时间和一个框的总分析时间相同，那么一个框的分析时间平均到每个区域点，会使采样时间极其短暂，从而影响定量结果的准确性。

上面的说法不对，根据分析对象灵活掌握。对电子束敏感的样品尽量用面扫描，对电子束不敏感的样品，两种方法均可。点分析易造成碳污染，面扫描可减轻。对小质点只有用点分析了。分析平均成分只能用面扫描。

面扫描的速度一定要尽量慢