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日立S-4800 扫描线圈电阻偏低

  • tingxuelou
    2016/02/22
  • 私聊

扫描电镜(SEM/EDS)

  • 求助各位大虾:
    设备正空系统正常,就是成像模糊不清晰。目前分析下来发现到物镜扫描线圈电阻偏小,正常是7Ω,现在约为4Ω。
    接下来不知怎么弄了,求思路,谢谢。
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  • zemb

    第1楼2016/02/23

    图像是否变形?
    聚焦是否调到头还调不过来?
    物镜线圈和扫描线圈应互不影响,不知“物镜扫描线圈”是何意?
    如果确认某线圈电阻变小,可能是该线圈局部短路。

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  • tingxuelou

    第3楼2016/02/23

    图像没有变形,就是模糊。现在分析下来就是物镜线圈电阻偏低。 还请高人指点接下来怎么修。

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  • zemb

    第4楼2016/02/25

    如果是物镜线圈的问题,那就有些麻烦了。要修(或换)物镜线圈,首先你要把镜筒拆下来,这就是很大的工程,最好有一个吊车,要不就要找几个棒小伙子拿着绳子、杠子把她抬下来,而且特别注意千万不要磕碰到哪。你那个48上面还有两个离子泵吧,都是重家伙,你也可以把它先卸下来。还有那些管道、电缆的,……到处都是麻烦。
    就是把镜筒卸下来了,物镜怎么修哇,你能自己重绕一下吗,要不买个新的换上。……你要是能找到那个短路点,那可是不幸中的万幸,想办法把它剥离开就行了。
    我也想不出什么好办法。

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  • avih1981

    第5楼2016/02/26

    应助达人

    物镜线圈电阻偏低

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  • tingxuelou

    第6楼2016/02/26

    谢谢大侠

    zemb(zemb) 发表:如果是物镜线圈的问题,那就有些麻烦了。要修(或换)物镜线圈,首先你要把镜筒拆下来,这就是很大的工程,最好有一个吊车,要不就要找几个棒小伙子拿着绳子、杠子把她抬下来,而且特别注意千万不要磕碰到哪。你那个48上面还有两个离子泵吧,都是重家伙,你也可以把它先卸下来。还有那些管道、电缆的,……到处都是麻烦。
    就是把镜筒卸下来了,物镜怎么修哇,你能自己重绕一下吗,要不买个新的换上。……你要是能找到那个短路点,那可是不幸中的万幸,想办法把它剥离开就行了。
    我也想不出什么好办法。

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  • tingxuelou

    第7楼2016/02/28

    请问哪有4800的物镜线圈换啊?求购

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  • zemb

    第8楼2016/03/01

    大概只能找厂商了。

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  • zemb

    第9楼2016/03/01

    如果你的机器还没有停机,你是否可以试一下:
    把样品放到最低,或者干脆不放样品,就看样品座或样品台。在这时候(工作距离非常大)调整聚焦,是否能把图像调清晰?或者能看到明显的调整效果。
    这可以大致判断一下,故障到什么程度,物镜线圈是否还能起到一定的作用。如果是局部短路,我想它还会有一定作用的。

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  • zemb

    第10楼2016/03/01

    除了厂家谁还有?要不等谁家的48报废了,拆一个来用用。哈哈!

    tingxuelou(tingxuelou) 发表:请问哪有4800的物镜线圈换啊?求购

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