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隔振方案--有效解决华东师大低频振动对其电镜成像的影响

麦弯梦

2016/05/12

扫描电镜（SEM/EDS）

2016年4月，应华东师范大学老师的要求，为其提供低频振动解决方案。

近年来由于半导体制作设备向纳米级发展，仪器设备对于地面振动隔离的要求等级也不断地提升，再加上城市环境的改造；使仪器设备周围的振动环境变的比较复杂，传统的隔振技术已经渐渐的不符合实际的需要。主动隔振控制技术的研发在国际先进隔振产品上逐渐应用了起来。
隔振等级以及设备对振动环境的要求：

VC-A 50μm
VC-B 25μm
VC-C 12.5μm
VC-D 6μm 光学高倍显微镜所需振动环境
VC-E 3μm 电子显微镜，原子力显微镜等所需环境
为了满足电子显微镜等高端电镜对振动的要求
江西连胜科技有限公司研发出了一款主动隔振系统。VCM-400 主动隔振平台是隔振条的方式作为基本的支撑；同时配以传感器、控制电路和作动器，共同组成精密主动控制隔振系统。对于微小振动，则由传感器采集平台六个自由度的振动信号输入控制器，由其作出迅速有效的信号处理，以控制作动器，使其提供与平台残余振动大小相等、方向相反的力。
主动隔振平台的主要优势在于：
一、隔振效率高，大幅提升光学平台的隔振性能；
二、相比较于被动隔振，没有固有频率附近有害的振动放大及共振，使系统能始终处于稳定、优良的工作状态。
三、对于小的冲击，作动器反应时间快，使系统能快速的恢复到稳定状态。
四、解决了平台承载的同时，进一步拓宽了隔振平台的隔离振动的动态范围。

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驰奔

第1楼2016/05/13

不错，以前听说都是进口的，

0

麦弯梦

第2楼2016/05/16

是啊，大家还需更加努力，早日取代进口
驰奔(srd2009) 发表:不错，以前听说都是进口的，

0

小M

第3楼2016/05/18

应助达人

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0

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