ICPMS7700机械泵异响

（1）点火后，机械泵要把两锥之间的气体抽掉，所以那瞬间机械泵声音很大。等两锥真空IF/BK降到250-300 Pa之后，机械泵进入稳态模式，声音也随之稳定。
（2）7700有2种机械泵： Edwards E2M18（加 Inland 45号泵油），Varian DS402（加AVF 60号泵油）
（3）调节循环水机 输出水压 http://bbs.instrument.com.cn/topic/5359087

主要是声音很大刺耳，而且一般会持续20分钟不等，我担心会不会是泵坏了，又不敢动。
但是我会先调整循环水压力，并且更换机械泵油，然后再看看情况的~~~谢谢大神回复~~~~

泵彻底清洗需要打开外壳，但是外壳打开后密封垫基本就会怀，必须更换新的密封垫。

应助工程师

声音录一段传网盘上听听看

我也不敢轻举妄动，嘿嘿，顶多认真换换泵油～～

应助达人

怎么个刺耳法呢？

应助达人

我这个也出现了这种情况，感觉是灰尘太大了，或者是里面的某个轴磨损太严重了

泵油要趁热换，否则里面的杂质不容易冲出来，但是假如泵太脏了，光换泵油不能彻底解决问题，必须要把里面清理干净。

感觉是机械泵轴承坏了，今年我们也出现这个问题，温度一高异响就出现而且持续很久，后来让修电机把机械泵拆开，泵和电机连接处的轴承和固定转动的一个类似嵌套也磨的变形缺了一角