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氩离子抛光-sem结合对页岩研究

p3156028

2016/11/02

石油化工检测

氩离子抛光技术是对样品表面进行抛光，去除损伤层，从而得到高质量样品，用于在 SEM，光镜或者扫描探针显微镜上进行成像、EDS、EBSD、CL、EBIC 或其它分析。

氩离子切割技术是一种利用宽离子束（〜1mm）来切割样品，以获得宽阔而精确的电子显微分析区域的样品表面制备技术。一个坚固的挡板遮挡住样品的非目标区域，有效的遮蔽了下半部分的离子束，创造出一个侧切割平面，去除样品表面的一层薄膜。
氩离子抛光/切割的优点

机械抛光的缺点

相比较下氩离子抛光的优点：
（1）对由硬材料和软材料组成的复合材料样品, 能够很精细地制作软硬接合部的截面, 而使用传统方法制样是很困难的。
（2）比FIB方法的抛光面积更大（~1mm以上）。
案例分析：

图像从上到下：（A）PECS II抛光的样品表面的二次电子像，显示出高度孪晶的晶粒（B）PECS II 抛光后的锆合金的菊池花样（C） EBSD欧拉角分布图（D）IPFZ 面分布。
氩离子抛光制样-扫描电镜在学术研究方面的贡献：

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第1楼2016/11/02

如果对氩离子抛光制样有兴趣和需要的，可以加QQ讨论一下，因为论坛可能不是经常在线，QQ: 2853308315,或微信18811843699

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